Структурные характеристики микрообработки в основном включают в себя следующие аспекты:
Небольшой размер: одной из основных характеристик микрообработки является обработка микрон\/наноразмерных структур, что делает размер обработанных деталей очень маленькими. Например, размер микромеханических частей обычно находится между 0. 01 и 10 мм.
Высокая точность: поскольку микрообработка включает в себя очень небольшие размеры, требования к точности обработки очень высоки. Такие факторы, как трение и тепловая деформация на микромасштабе, требуют высокого контроля, чтобы обеспечить точность и стабильность деталей.
Разнообразие: Технология микрообработки может быть применена к различным материалам, включая кремний, полимеры, металлы, керамику и т. Д.
Гибкость: технология микрообработки очень гибкая и подходящая для производства микрокомпонентов со сложными формами. Его можно использовать не только для производства простых геометрических форм, но и для производства сложных трехмерных конструкций.
Массовое производство: микрообработка часто является пакетным литьем, которое подходит для крупномасштабного производства. Этот метод производства может повысить эффективность и снизить затраты и подходит для небольших деталей, которые необходимо производить массово.